半自动台阶仪JS100B
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- 产品介绍
半自动台阶仪JS1000B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像，可无畸变的观察样品区，方便定位特征区域，同时探针扫描时可实时观察扫描区域。
产品特色
01双摄像头设计，既可清晰无变形的观察样品，又可实时监测探针扫描状态。
02花岗岩龙门架结构，提供高刚性的支撑，保证测量稳定性。
03光栅尺闭环反馈样品台，重复定位精度优于5um。
04高精度微力传感器与微动扫描器，提供高的测量精度和重复性。
05采用金刚石探头，提供不同规格。
产品应用
刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量
薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量
各式薄膜等应力测量
3D扫描成像
计划任务和多点扫描
产品组成
XY电动/自动载物台
R电动/自动载物台
探针纳米粗调细调台
Z电动/自动载物台
扫描台
相机×2
技术参数
| 技术参数 | 说明 |
| 样品 | 单片(厚度≤10mm) |
| 晶圆尺寸 | ≤150mm/200mm/300mm |
| 重复性测量偏差 | ≤0.5nm(1σ1um标准块重复扫描30次) |
| 最大测量范围 | 80um |
| 垂直分辨率 | 0.05nm满量程 |
| 探针加力范围 | 0.5~50mg |
| 力控制 | 恒定 |
| 采样速度 | 200Hz |
| 最大扫描长度 | 55mm |
| 扫描方向 | 左右双向 |
| 扫描最大采集点数 | 200万点 |
| 扫描速度 | 5um/s -100um/s |
| 样品台运动方式 | 可实现水平(XM),旋转(RZ)电动控制 |
| XY行程 | >150mm/200mm/300mm |
| XY重复定位精度 | ±3um |
| Z行程 | 10mm |
| 样品旋转台 | ±360°，0.01°分辨率 |
| 标准探针 | 曲率半径>2um角度60°(标配) |
| 亚微米探针 | 曲率半径≤1um角度60°(选配) |
| 软件功能 | 台阶、粗糙度等表面形貌测量，应力测量和3D扫描成像 |